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该系统主要为高等院校，科研院所等单位的实验室提供专业的石墨烯生长设备，是一套完备的石墨烯制备系统，工作在常压气氛或真空条件，通过控制，可以在10-3Torr～760 Torr之间的任意气压下进行石墨烯的生长。既可以生长出六边形的石墨烯单晶，也可以生长出花瓣状的石墨烯的单晶。兼容真空及常压两种主流的生长模式。
主要技术参数：
1、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，温场均衡、表面温度低、升温速率快、节能等优点；
2、电热元件采用进口高阻合金，表面负荷高，发热速度快；
3、炉体两端采用不锈钢密封法兰，耐高温、耐腐蚀；
4、保护管采用进口石英管；炉管尺寸：外径约为60mm×1000mm；
5、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；
6、采用进口50段程序控温，控温精度±1℃，移相触发、可控硅控制；
7、通入气体种类：氮气、氢气、甲烷等；
8、温度范围：室温至1050℃以上；
9、气体流量分别为（0-200sccm 2路），甲烷（0-100sccm）和（0-500sccm）
10、进气口：采用国际标准双卡套接头；
11、真空系统： 4L/S机械泵+FF160/620分子泵；
12、极限真空：6.7×10-5 Pa；恢复真空：5×10-3Pa；油雾过滤。 | 
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