| 1、反应室工作压强：5～1000Pa；反应室石英管腔体尺寸：Φ80mm×180mm；
2、由500W射频源、放电腔体、气源调节系统、真空系统等组成，射频频率：13.560MHz；
3、设有透明观察窗，可直观观察等离子体的放电现象及特性；
4、真空系统：采用旋片真空泵，单相220V交流电源，极限真空6×10-1帕，抽速4升/秒；
5、供气系统：有两路独立供气气路,通过转子流量计控制流量；
6、可以处理金属和非金属等任意的材料，不受被处理材料是否导电的限制，同时避免电极大量放热和蒸发腐蚀污染的问题。 | 
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