|
本装置由我公司和中国科学院材料物理重点实验室联合研制，适用于在塑胶、玻璃、陶瓷等材质的工件上镀制金属膜、装饰膜、硬质膜、金刚膜、或光学膜等科研与生产工作。
主要技术参数
1、真空室：镀膜室尺寸：Φ450×540mm；结构：箱式前开门结构，后置抽气系统，手动推拉式；观察窗：镀膜室门上配有Φ100mm观察窗；
2、蒸发组件：蒸发电源（3KW/10V）2组；水冷蒸发电极2对；
3、控制方式：手动按键式；
4、旋转夹具：球面拱形夹具，0~30r/min无级可调（可根据要求制）；
5、工件烘烤：室温～300℃（PID控制）；
6、真空测量：数显复合真空计；
7、供电电源：三相AC380V，50Hz；
8、选配件：石英晶振膜厚测控仪、高压离子轰击；
9、用户需自备或另购冷却水系统。
2.1抽气系统
1）采用复合分子泵+直联旋片泵作为真空抽气系统；
2）主抽泵：抽速≥1200 L/S ，额定转速27000rpm，氮气压缩比≥109；
3）前级泵：采用BSV-30磁阀，抽速：8L/S
4）主抽阀： CCQ- 250（CF）超高真空电动闸板阀
5）前级、旁抽阀：GDQ-J 40动挡板阀
2.2真空测量
1）数显复合真空计：测量范围：1×105～1×10-5Pa；
2.3系统性能指标：
1）极限真空度：优于5×10-5Pa (空载经烘烤除气后）；
2）恢复真空：从大气抽至6.7×10-4Pa＜45min；
3）真空室漏率：关机12小时真空度＜5Pa。（新设备空载） | 
相关产品
