主要实验内容
真空的获得与测量、蒸发法薄膜制备、直流溅射原理及应用
主要技术参数
1、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明;
2、电气控制有安全防护,防止误操作对人员和设备造成损伤;
3、采用不锈钢、真空橡胶管结合管路,阀门为电控双向截止阀;
4、真空室:304不锈钢底盘和玻璃钟罩组成,尺寸:Φ230×260mm;
5、真空测量:数显复合真空计;
6、衬底温度:室温~200℃(PID控温),衬底加热、烘烤除气;
7、抽气系统:2XZ-4B机械泵+四级玻璃扩散泵,需水冷;
8、极限真空:9.6×10-4Pa;恢复真空:5×10-3Pa<40分钟;
9、1组无氧铜电极,蒸发功率:AC10V/150A,带直流溅射系统;
10、可镀膜尺寸:Φ70mm,溅射靶:Φ35 mm(直流溅射);
11、溅射电源:开环电压:DC 0~1000V/1A;工作电压400~800V;
12、工作电源:AC220V±5%,50Hz;整机功率:3kW;16A插座;
13、环境要求:温度低于30℃,湿度≤70%;
14、用户需自备或另购冷却水系统。 |