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镀膜仪是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪，可以设定程序，精确控制温度200℃～1500℃最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜，广泛用于电极的制备和有机物发光LED。
主要技术参数
1、工作电压：AC220V 50/60Hz ；蒸发功率：500W，最大电流：50A，
整机功率约2KW；
2、真空镀膜室：内径Φ150mm×高度200mm；
3、蒸发电极：Ф10mm无氧铜电极一对，间距：70mm；
4、温控及加热源：采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制；
5、标准采用S型热偶：工作温度为200℃～1500℃；
6、数显温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为±1℃；也可将仪器转换到手动调节状态，内部安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小；
7、衬底架，直径为Φ140mm；衬底台可旋转，转速为：5～30转可调；可同时放置4个Φ50衬底；
8、衬底架和蒸发源之间的距离可以调节，调节范围为：60～100mm；
9、真空系统：真空度达到5×10-1 Pa，蒸发贵金属如Au，Ag。
选配：分子泵真空系统，真空度达到5×10-4 Pa，蒸发易氧化材料。
实验耗材：衬底基片和蒸发镀料。 |
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