干涉显微镜是用来测量精密加工零件(平面、圆柱等外表面)光洁度的仪器,也可以用来测量零件表面刻线,镀层等深度。仪器配对各种附件,还能测量粒状,加工纹路混乱的表面,低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上,对大型工件表面进行测量。
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