YJ-PLK-4普朗克常数测量仪DH2010多功能真空实验仪/DH2010A多功能真空实验仪

DH2010

多功能

真空实验仪

真空实验仪是一个真空实验平台。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，能够很直观反映真空获得的全过程。

主要实验内容

真空的获得与测量、蒸发法薄膜制备；

主要技术参数

1、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明；

2、电气控制有安全防护，防止误操作对人员和设备造成损伤；

3、采用不锈钢管路，阀门为气动双向截止阀；

4、真空室：304不锈钢底盘和玻璃钟罩组成，尺寸：Φ230×260mm；

5、真空测量：数显复合真空计，测量范围：1×10⁵～1×10^-5Pa；

6、衬底加热温度：室温～300℃（PID控温），衬底架可旋转，

7、抽气系统：DRV-16双极旋片泵+四级玻璃扩散泵二级真空系统；

采用高真空腔室焊接，清洗工艺，进口氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于5.0×10^-10Pa/m³/s；

8、极限真空：9.6×10^-4Pa；恢复真空：5×10^-3Pa＜40分钟；

9、热阻蒸发舟及电源

9.1蒸发源电源：1台, 最大功率：AC10V/150A，

9.2热阻蒸发舟电极：2个；

9.3金属蒸发源：配热阻蒸发舟（钨舟）；

9.4独立蒸发舟挡板：1套。

10、可镀膜尺寸：一次可镀2英寸基片4片

11、工作电源：AC220V±5%，50Hz；整机功率：约4kW；

12、环境要求：室温低于30℃，湿度≤70％；

13、用户需自备或另购工业水冷机（选配件）。

DH2010A

多功能

真空实验仪

主要实验内容

真空的获得与测量、蒸发法薄膜制备、直流溅射原理及应用

主要技术参数

1、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明；

2、电气控制有安全防护，防止误操作对人员和设备造成损伤；

3、采用不锈钢管路，阀门为气动双向截止阀；

4、真空室：304不锈钢底盘和玻璃钟罩组成，尺寸：Φ230×260mm；

5、真空测量：数显复合真空计，测量范围：1×10⁵～1×10^-5Pa；

6、衬底加热温度：室温～300℃（PID控温），衬底架可旋转，

7、抽气系统：DRV-16双极旋片泵+四级玻璃扩散泵二级真空系统；

采用高真空腔室焊接，清洗工艺，进口氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于5.0×10^-10Pa/m³/s；

8、极限真空：9.6×10^-4Pa；恢复真空：5×10^-3Pa＜40分钟；

9、热阻蒸发舟及电源

9.1 蒸发源电源：1台, 最大功率：AC10V/150A，

9.2 热阻蒸发舟电极：2个；

9.3 金属蒸发源：配热阻蒸发舟（钨舟）；

9.4 独立蒸发舟挡板：1套

10，磁控溅射靶：靶材直径为50.8 mm(2”)，靶径2”(50.8毫米)

靶材:非磁性2-5mm厚，采用间接水冷；镀膜方式，由下往上溅镀；

11、溅射电源：最大输出功率500W；输出电压0～-800V可调 1台

12、可镀膜尺寸：一次可镀2英寸基片4片

13、工作电源：AC220V±5%，50Hz；整机功率：约4kW；

14、环境要求：室温低于30℃，湿度≤70％；