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XPS-7Ⅱ半导体工厂用系统 检测对象:更换传感器,能够检测各种气体 检测范围:根据规格而定 检测原理:根据规格而定 检测方式:泵吸引式 应用行业:石油化工、半导体制造等 特 点 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器 传感器经过校准和交付,无需现场气体校准。此外,无需工具即可轻松更换传感器 小巧·轻便的设计 通过 LCD 显示屏轻松了解气体浓度,报警状态和错误信息 采样流量的自动控制功能 当插入与设置不同的传感器时,传感器具有防止错误插入的功能 通过连接 PDA,可以获取存储在检测单元中的数据 转换器单元(选件)可用于检测 NF3 和 CCl2 符合 CE 标准 符合 SEMI 标准
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TEL:13201739318.15319737635wx QQ:2841034937 温馨提示:咨询时,请提供产品编号 (左侧图片下7位数字)
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