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西安明克斯为您提供KMAC超精密光学薄膜厚度测试仪系列,欢迎选购。
一、KMAC超精密光学薄膜厚度测试仪系列介绍：
KMAC超精密薄膜厚度测量仪及分析仪系列已广泛应用在韩国,日本和台湾等许多国家的半导体工程,绝缘体薄膜,和众多的LCD/PDP/ELD/OLED等平板显示设备相关的生产企业。从台式的实验室分析设备到大型在线测量设备,KMAC提供众多的型号和功能选择。卓越的设计和可靠性能使埃-纳米-微米级测量的精度和重复性大大提高的同时，测量速度也大大加快以满足在线式检测的要求。
系统构成：探头；显微镜,带样品平台及镜头；打印电缆及稳压电源 ；使用n,k数据或公式等三种类型的曲线拟合分析软件。
应用软件：实时测量；厚度及光学常数； 最高3层薄膜测量；测量结果制图；X-Y-Z移动控制；CCD影像显示；自定义测量过程；打印预览模式。
二、KMAC超精密光学薄膜厚度测试仪系列应用领域：
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半导体 |
Poly-Si, GaAS, GaN, InP, ZnS, SiGe ... |
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绝缘材料 |
SiO 2 , Si 3 N 4 , TiO 2 , ITO, ZrO 2 , BTS, HfO 2 ... |
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聚合物 |
PVA, PET, PP, PR ... |
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LCD |
a-Si, n+a-Si,Oxides, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide Film |
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光学镀层 |
Hardnes Coating, Anti-Reflection Coating, Filters, Packing & Functional Film ... |
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可纪录材料 |
Phtosensitive Drum, Video Head, Optical Disk ... |
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其它 |
Photoresist Film on CRT & Shadow Mask, Thin Metal Films, Laser Mirrors |
三、KMAC超精密光学薄膜厚度测试仪系列比较方法：
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功能 |
光谱反射法 |
椭偏仪 |
表面轮廓描绘 |
X射线荧光分析 |
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非破坏性 |
是 |
是 |
否 |
是 |
|
微观区域 |
是 |
否 |
否 |
否 |
|
识别图案 |
可能 |
不可能 |
不可能 |
不可能 |
|
测量厚度 |
Thick(μ m) |
可能 |
有误差 |
可以 |
可以 |
|
Thin(?) |
可能 |
可能 |
可能 |
不可能 |
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测量速度 |
>0.5秒 |
>~分钟 |
>~10分钟 |
>~20分钟 |
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处理能力 |
高 |
低 |
很低 |
很低 |
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金属膜 |
否 |
否 |
是 |
特定金属 |
|
N, K 值测量 |
可以 |
是 |
否 |
否 |
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样品制备 |
容易 |
容易 |
困难 |
困难 |
|
方便性 |
很好 |
好 |
较差 |
较差 | |
TEL:13201739318.15319737635wx
QQ：2841034937
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