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DHFC-1型功能薄膜特性测试仪
DHFC-1型功能薄膜特性测试仪
1712014

DHFC-1型功能薄膜特性测试仪

用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)、功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性。
1、本底真空度:≤10 Pa,真空可控范围:10~400Pa;
2、衬底加热温度:室温~300℃;
3、测量范围:电阻率:0.001~200Ω.cm; 电导率:0.005~1000 s/cm; 电阻:0.001~200Ω.cm;可测晶片直径:200mmX200mm间距:1±0.01mm;针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%;探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;探针压力:5~16 牛顿(总力);
4、恒流源:电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调;误差<±0.5%;
5、数字电压表:量程:0~199.99mV;分辨率:10μV;四位半红色发光管数字显示;输入阻抗>1000MΩ:精度:±0.1%;

6、指针式高阻计:电阻测量范围:1×106~1×1017Ω;精度:±10%±20%;微电流测试:1×10-5~1×10-14A;额定电压:10、100、250、500、1000V±5%。

TEL:15319737635
QQ:2841034937  

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相关参数
 型号名称: DHFC-1型功能薄膜特性测试仪
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